身处后摩尔时代,半导体行业正面临着一场艰苦的“良率”战斗。随着芯片越来越复杂化,晶体管密度成倍增加,芯片制造良率管理难度也呈指数级增长,特别是对于那些追求先进制程的晶圆厂而言,更是会成为致命伤。
良率是半导体工厂的核心竞争力所在,也被称为是半导体工厂的“生命线”。
半导体良品率是实际生产的芯片总数与一个晶圆上最大芯片(集成电路)数的百分比,换句话说,良率是实际生产的数量与投入的总数量之比。良品率越高,生产率就越高,良率直接影响着成本和产能利用率。因此,提高良品率在半导体行业非常重要。同时,良率也是评估企业竞争力的重要标志之一,直接反映了制造过程的稳定性和产品质量的可靠性。
在逻辑芯片领域,按着摩尔定律的指引,目前能够实现量产的最先进工艺是3纳米。在该领域,台积电和三星是两大主要的玩家,两家在这场3nm之战中展开了激烈角逐。
三星于2022年6月率先宣布3nm量产,比台积电早几个月。三星是业界率先在3nm中引入栅极环绕 (GAA) 工艺的厂商,相比之下,台积电仍然采用FinFET晶体管架构。但是三星却在良率上遭遇了滑铁卢,虽然三星近日否认了韩媒ZDNet Korea所报道的,三星3nm良率低于20%的消息,然而由于良率问题,三星3nm确实流失了大量客户。
谷歌的Tensor处理器在第四代之前都委托给三星电子代工部门,但从引入 3nm 工艺的第五代开始,就转向了台积电。三星自家的Exynos 2500芯片也深受良率困扰,6月25日,知名分析师郭明錤在X(原推特)平台上发布社交动态评论,称由于三星自研的Exynos 2500处理器3纳米芯片良率低于预期而无法出货。
预计今年,包括智能手机、服务器、人工智能等在内的Fabless公司及IT大厂都将开始将3nm作为主要制程。在良率这个重要的考核指标面前,由于台积电的领先优势,预计将获得大部分大厂的3nm订单,这将有可能进一步拉大台积电与三星电子的市占率差距。
然而,即使是台积电,目前其3nm工艺的良率相较上一代也并不高。台积电目前也在积极提升3nm的良率。
良率低的问题不仅限于逻辑芯片领域,存储芯片也面临着同样的挑战。生成式AI正在消耗大量的HBM存储芯片,但是良率一直是Nvidia GPU芯片大规模量产的拦路虎之一。据路透社报道,三星的高带宽存储HBM3芯片的生产良率约为10%~20%,而SK海力士的HBM3良率可达60%~70%。在传统的DRAM存储方面,三星第五代10纳米级(1b)制程DRAM的良率未达业界80%至90%的一般目标,迫使三星在上个月成立专门工作小组以解决这一问题。
而接下来,生成式AI还在滚滚向前,对芯片算力的需求望不到底。为了获得更高性能、更高算力的AI芯片:
一方面,逻辑厂商正在积极向2nm工艺突破,台积电和三星目前都计划在2025年开始2nm大规模量产,与此同时,还在发力FOPLP(扇出型面板级封装)等先进封装技术;
另一方面,存储厂商也在大力投入下一代HBM(即HBM4)的研发,各种先进的技术也在考虑当中,例如混合键合。
可想而知,届时良率又会成为一大难关。据《韩国经济日报报道》,SK海力士正在招聘数十名与HBM相关的职位,在其招聘启事中显示,希望寻找芯片专家能够通过改进代工工艺和测试逻辑芯片,进而提高HBM芯片的良率。
良率低是半导体厂商普遍面临的难题,也是制约芯片产业发展的瓶颈。从经济学角度上讲,提升芯片良率也可以视为摩尔定律的另一种延续。如何在新技术不断推陈出新的背景下,提高良率,成为每一家半导体厂商必须解决的关键问题。
良率提升,为何如此难?想要提高良率,首先要明确导致良率低的原因有哪些?影响半导体制造良率的因素众多,但无外乎“人、机、料、法、环、测”。具体而言:
人:操作人员的技术水平和操作规范性直接影响生产过程的稳定性;
机:半导体制造设备的精度和稳定性直接影响芯片的微观结构和尺寸;
料:原材料的纯度和一致性影响芯片的质量;
法:工艺参数控制和操作精度对良率至关重要;
环:生产车间的环境因素会影响芯片的制造过程;
测:测试设备性能和测试方法影响良率评估的准确性。
然而,随着芯片制程不断向先进制程迈进,影响良率的因素更是让人“难以捉摸”。
一方面,工艺的进步所涉及的工艺步骤和材料种类增多,芯片上的缺陷种类也越来越繁多,而且缺陷成因复杂,难以分析和排查。另一方面,新工艺、新材料、新设备的不断引入也给良率提升带来了新的挑战。此外,提升良率需要投入大量的资金和人力,包括研发投入、设备投入、人才培养等。而且一些先进的检测和分析手段也需要较高的成本。
这也是为何行业每往前迈进一个制程,良率都愈发难以提高。为了提高半导体制造的良率,行业各方正不遗余力地进行多方面的优化和创新。
众壹云服务国内头部晶圆厂达20年,在致力于实现晶圆制造的工艺优化和良率提升的同时,发挥自身优势,推动芯片设计和制造协同。目前我们的AI ADC产品已经在国内头部的晶圆厂中进行了部署,并得到了实地验证,取得了良好的效果。AI ADC产品是为半导体制造商提供的基于机器视觉的自动晶圆缺陷分类的完整方案。通过升级部分高级制程控制(APC),将其与缺陷/良率管理系统(DMS/YMS)的关键指标关联起来,实现缺陷的减少及良率提升。

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