衬底的类型有哪些,分别用在哪些产品中?
芯片种类繁多,并不是只有单晶硅片做衬底,不同类型的衬底根据其特性被用于不同的芯片产品。对于其他衬底大多数人知之甚少,下面详细介绍下。
基板(衬底)种类汇总
1,单晶硅片
目前最普遍的衬底材料,广泛用于制造集成电路(IC)、微处理器、存储器、MEMS器件、功率器件等
2,SOI衬底
用于高性能、低功耗的集成电路,如高频模拟和数字电路、RF器件和电源管理芯片。
3,SiGe衬底
SiGe ,锗硅,是一种硅和锗任意摩尔比的合金,分子式为 Si 1− x Ge x,常用外延的方式制作。用于异质结双极晶体管,混合信号电路,射频等领域。
4,化合物半导体衬底
8,LT(钽酸锂)
用于声表滤波器,mems等
9,玻璃基板
用于LCD、OLED、光学滤波器等
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