EUV光刻胶,一场大战即将打响

作者:admin  来源:半导体芯闻  发布时间:2024-02-06  访问量:1196

围绕一项可能改变芯片制造未来的技术,一场价值数十亿美元的专利大战爆发,纽约州立大学与一家将由日本政府支持的基金拥有的公司展开对决。


根据上周提交的一份文件,该大学的研究基金会声称,日本 JSR 的美国子公司 Inpria 一直在销售基于其一位教授发明的技术的芯片材料产品。它可能会因涉嫌侵犯其知识产权而寻求最高 43 亿美元的赔偿。


随着 JSR 寻求一家国家支持的基金收购一项有争议的交易,这场法律战爆发了,该交易引发了人们对日本是否正在进入国家干预主义以保护具有战略重要性的技术的新时代的质疑。 


JSR是光致抗蚀剂(用于在芯片晶圆上印刷电路设计的专用化学品)的领先供应商,其客户包括三星电子、台积电和英特尔等全球最大的芯片制造商。


知识产权纠纷的核心是 Inpria 商业化的技术,Inpria 是一家从俄勒冈州立大学分离出来的化学材料初创公司,JSR 于 2021 年以 5.14 亿美元的价格收购了该公司。


该公司以其含金属光刻胶而闻名,研究人员认为这是开发高度复杂且具有成本效益的极紫外(EUV)光刻机的潜在游戏规则改变者,这对高端芯片的生产至关重要。


分析人士认为,Inpria 正在开发的技术是日本政府热衷于防止 JSR 落入外资手中的原因之一。


向纽约美国地方法院提交的诉状称,金属氧化物抗蚀剂最初是由研究基金会教授罗伯特·布雷纳德和他的团队发明的。它指控 Inpria 使用其价值 24 亿至 43 亿美元的知识产权销售产品并申请新专利,违反了该基金会与 JSR 子公司之间签署的合同。


它还寻求一项初步禁令,以阻止 JSR 和 Inpria 继续其涉嫌的活动,并要求建立一个托管账户,以确保即使在国家支持的日本投资公司 (Japan Investment Corporation) 向 JSR 提出 64 亿美元的收购要约之后,其财务索赔也将受到保护最早在这个月。


文件指出,JIC 交易预计将于 3 月初完成,“在不到五周的时间里,Inpria 及其母公司 JSR 将尽力纠正这些错误。”


纽约州立大学的诉讼指出了 JSR 和 JIC 之前的主张,这些主张让人质疑一旦 JIC 收购 JSR,该研究基金会是否仍然能够对 Inpria 采取法律行动。


一位接近 JSR 的人士表示,该公司此前并未暗示其将不受美国法院的管辖,而且 Inpria 的知识产权预计不会转移给 JSR 或 JIC。


该研究基金会表示,当 2022 年 10 月 Inpria 与芯片制造设备供应商 Lam Research 之间爆发专利法律纠纷时,它就意识到了与 Inpria 的知识产权问题。去年 11 月,它通知 Inpria 正在考虑采取法律行动。


JSR 在一份电子邮件声明中表示,它认为该诉讼没有法律依据,并且其进行的内部调查并未发现任何涉及 Inpria 或牵连 JSR 的不当活动。


该公司表示:“相关专利属于 JSR 于 2021 年全面收购 Inpria 之前提交的专利族。”


它补充说:“Inpria 是一家前大学衍生企业,在金属氧化物的学术研究方面有着深厚的根基,可以追溯到二十年前。”